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ic半晶硅是半導(dǎo)體晶硅類型中的一種,隨著太陽能電池的興起,人們?nèi)粘I钪械碾姵氐氖褂靡苍絹碓狡毡?,如新能源汽車、線路板、電子設(shè)備、鋁電池等都是會(huì)設(shè)計(jì)到電池的加工,電池的加工ic半晶硅是一個(gè)必不可少的原材料,在工廠加工的過程中產(chǎn)生的ic半導(dǎo)體晶硅廢水應(yīng)該怎么處理呢?
電子半導(dǎo)體加工原材料主要有ic晶硅、硝酸、氫氟酸等,而在加工的過程中硝酸、氫氟酸需要進(jìn)行適當(dāng)?shù)母g,因此在加工工藝的過程中會(huì)加入酸性的化學(xué)藥劑,最后排放出來的ic半導(dǎo)體晶硅廢水是偏酸性的。
半導(dǎo)體晶硅的廢水來源主分為含氟酸性廢水、生活污水以及其他生產(chǎn)廢水三類,在清洗以及浸泡多晶硅原料的車間會(huì)排放出噴淋塔的酸霧廢水,期水質(zhì)的變化幅度較大而pH值不穩(wěn)定需進(jìn)行中和處理。
在進(jìn)行中和處理時(shí)因廢水的含氟量較高,半導(dǎo)體晶硅廢水的也是具有一定量的懸浮物,色素高,對(duì)于廢水中的硝酸根離子以及F-需要進(jìn)行針對(duì)性去除。
ic半導(dǎo)體晶硅廢水處理設(shè)備工業(yè)流程:
收集晶硅廢水—多介質(zhì)過濾器過濾—保安過濾器二次過濾—超濾膜三次過濾—水質(zhì)測定(濁度儀測定或者是SDI測定儀判斷水質(zhì)是否符合標(biāo)準(zhǔn))—達(dá)標(biāo)排放。
如處理之后的水質(zhì)還是不達(dá)標(biāo)則需重新送至廢水收集箱進(jìn)行重新處理,而達(dá)標(biāo)的水質(zhì)則可以重復(fù)使用或者是進(jìn)行排放處理。